具有改变性能的自动化功能的晶圆推拉力测试仪，能测量微小产品的机械强度。博森源测试仪器是一个革命性的解决方案，对于测量机械性强度。具有显著的0.25%的精度和200纳米的剪切高度精度，已超高行业其他同类型测试器。包括免费安装设备和深度学习自动测试和分析。
为什么选择一台博森源推拉力测试仪?
1.灵活的数据分析
统计过程控制
控制图(CPK、图等)
特殊表格管理功能
实时力图
制定管制规则
2.最精确的推力和拉力测试仪
无与伦比的0.25%精度
200纳米剪切高度精度
数字温度特征
可编程着陆力降至5gf
24位ADC分辨率
3.按设计模块化
各种装载选择
也适合你的样品
强大的显微镜选项
4.最佳人体工程学
为操作员设计
可调节的显微镜
清洁工作环境
碎片管理
2x6按钮操纵杆
5.全球服务
市场领导者
重点区域的办公室
广泛的分销商和代表网络
如何实现高精度测试？
1.剪高控制
纳米控制剪切传感器有一个独特的驱动器，在剪切传感器体内有一个封闭的控制环。它提高了剪切高度的精度和稳定性，在测试关键应用，如晶圆级，涂层，和铅框架的精度为200纳米。
2.确保对剪切高度进行纳米控制
剪切高度是在粘结测试仪上控制的最具挑战性的排列之一。测试之间的差异可能会影响测量结果，并降低测试结果的可靠性。革命性的纳米控制剪切传感器通过在剪切传感器主体内集成一个独特的驱动器和一个闭合的控制回路来解决所有这些问题。
该传感器可补偿测试过程中剪切高度的任何变化，并使粘合测试过程中的剪切高度完全可追溯。它是一种特殊的解决方案，可用于测试晶圆级、涂层和引线框架等精确应用。
3.推力工具设计
一些基本考虑因素适用于所有剪切工具设计应用。
当刀具接触待测物时，将发生初始点或线的接触。随着测试的继续，这会导致接触位置的高局部应力和样品中的塑性变形。
（1）向下推力
为了破坏接着面，球必须能够从粘结中抬起，但推刀在物理上是将其压住。 为了使其更不容易发生粘接失效，塑性变形会产生向下推力而将粘合推到一起，有助于支撑它。 下推力从硬质样品中的0到复合材料高达40%的测试载荷不等。在大多数情况下，它大约是测试负载的 10%。
（2）硬质散装材料
对于硬质材料，没有下推力。 只有刀具和球在接触点处的摩擦才能支撑粘合。 这使得球可以旋转并使粘结失效。在高测试速度下，变形（应变率）更快 。硬质材料硬度随应变率的增加而增加。因此，在高速下，硬质材料更硬，因此会产生更多感兴趣的失效模式。
（3）刀具倾角和间隙角
倾角和间隙角是工具表面与待测物接触的基本角度。例如：标准剪切工具应具有 0° 倾角和约 5° 的正间隙角。
（4）可程序设计着陆力
在某些应用中，测试高度参考测试目标本身，而不是放置目标的基板较具有优势。这是一种「顶部着陆」方法，因为工具落在目标顶部而不是基板上。
顶部着陆需要针对不同的应用不同的力，需要可程序设计的着陆力。
以轻微的着陆力降落在芯片顶部还可以通过将芯片在推刀和治具之间压平而最大限度地减少翘曲的影响。
也可以使用顶部着陆来测试堆栈的芯片样品或测试彼此靠近的芯片。
